Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領域 的苛刻任務而設計，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達到高分 辨率。它由兩個協同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動光路調節(jié)—— 它 們組成一個全新的電子光學引擎。 BSE 的優(yōu) 勢也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。

智能自動光路調節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結合，新的智能自動光 路調節(jié)讓您受益于以下特點：
? 通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。

背散射電子產生于樣品表面之下，可提供 樣品材質成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射， 被 Gemini 鏡筒電子束推進器吸入后射 到鏡筒內。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量，它們會在電 子束推進器內產生不同軌跡。