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結合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結構,進行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結構,進行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設備“以動測靜”法的平衡實驗

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浮力提拉單晶爐提拉機構特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡稱FTD)是利用浮力原理設計成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內(nèi)已有幾個廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視。可是,FTD在問世以后,卻沒有進行深入探討。雖然FTD的設計有過幾次變化,但由于沒有掌握設計的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對多臺FTD作了分析對比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機構的設計要領。希望這-一卜作能夠推動FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。} 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明的直拉式單晶生長爐中，經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長，平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L，有效降低了生產(chǎn)成本，且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結構的整齊性，還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長爐中，碗形的氣流導向裝置設于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間，且氣流導向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設置，有效地減小了爐內(nèi)空間，便于迅速及時地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出，且利于減少熱能和的消耗量，使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外，由于該爐的排氣口與氣流 導向裝置的各通氣孔相連通，