特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達(dá)到class1000#前提下，實驗室內(nèi)能有效過濾微塵而達(dá)到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應(yīng)將氮氣接通本機(jī)之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調(diào)節(jié)至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內(nèi)后須將門面關(guān)閉，門扣確實扣緊后，門面安全開關(guān)有作用，機(jī)臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風(fēng)口，請接至排氣系統(tǒng)冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環(huán)境。
在開始工作前的話要確認(rèn)電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內(nèi)，開啟電源開關(guān)并調(diào)整溫控儀表、適當(dāng)?shù)臏囟扰c加熱恒溫時間，并目操作人員要專心操作并配戴防護(hù)器具:并不得離開加工區(qū)

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計)。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內(nèi)溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運(yùn)風(fēng)循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內(nèi)部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，了進(jìn)入無塵空間的熱風(fēng)達(dá)到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護(hù))，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵潔凈烤箱內(nèi)外應(yīng)經(jīng)常保持清潔，長期不用應(yīng)罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內(nèi)，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務(wù)必風(fēng)機(jī)是正常運(yùn)轉(zhuǎn)，嚴(yán)禁安裝在潮濕的環(huán)境下運(yùn)行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結(jié)構(gòu)、性能、工作原理及調(diào)整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設(shè)定好，再將定時開關(guān)擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機(jī)檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。