在 2.45 GHz 頻率下產(chǎn)生的微波具有產(chǎn)生等離子體的特優(yōu)勢(shì)。在這個(gè)頻率下，微波可以有效地與氣體的電子共振，從而提高電離效率。此外，2.45 GHz 頻率允許使用相對(duì)較小的腔體尺寸，這對(duì)于緊湊型等離子體源的設(shè)計(jì)非常有用。 微波等離子體源具有多種應(yīng)用，包括：

微波等離子體源的設(shè)計(jì)和操作可能很復(fù)雜，需要仔細(xì)控制微波功率、氣體流量和壓力等參數(shù)。此外，采取適當(dāng)?shù)陌踩A(yù)防措施，因?yàn)槲⒉ㄝ椛浜透唠妷嚎赡艽嬖谖ｋU(xiǎn)。 總之，2.45GHz 微波等離子體源是一種強(qiáng)大的工具，在許多需要產(chǎn)生等離子體的應(yīng)用中都有應(yīng)用。它們提供了一種、靈活的方法來(lái)控制等離子體過(guò)程，從而實(shí)現(xiàn)各種工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用。

Sairem公司是法國(guó)一家專注于提供微波源、微波等離子體源的公司，它的微波源被廣泛應(yīng)用于PECVD法制造生長(zhǎng)金剛石設(shè)備中，等離子體源用于清洗、噴濺、蝕刻等設(shè)備中。