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美國國外以美國KAYEX為代表,生產全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上,進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產品早在80年代初進入市場,已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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