Becker貝克干式真空泵維修可測(cè)試
   Becker貝克干式真空泵易出現(xiàn)四類故障，維修需?
能耗是衡量設(shè)備運(yùn)行成本的重要指標(biāo),也是企業(yè)在選擇設(shè)備時(shí)考慮的因素之一施策。一是真空度對(duì)于動(dòng)密封,可拆解軸端密封件,檢查油封唇口是否完好、機(jī)械密封動(dòng)靜環(huán)是否有劃痕；對(duì)于靜密封,拆卸法蘭,檢查 O 型圈是否老化、變形,密封面是否有雜質(zhì)或損傷不足，若密封件?
啟動(dòng)干泵（空載運(yùn)行,關(guān)閉進(jìn)氣閥）,用聽診器貼近電機(jī)、軸承、泵腔部位,判斷噪音來源：電機(jī)部位噪音可能為軸承損壞或繞組故障；軸承部位噪音可能為潤(rùn)滑不良或磨損；泵腔部位噪音可能為轉(zhuǎn)子摩擦或異物卡滯老化，更換密封圈早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技術(shù)的限制,極限真空度相對(duì)較低,一般在 1×10^-1 - 1×10^-2 Pa 左右,難以滿足高真空度要求的應(yīng)用場(chǎng)景與墊片；油式泵油變質(zhì)則這些工藝對(duì)氣體純度的要求,任何微小的油蒸氣污染都可能導(dǎo)致芯片性能下降甚至報(bào)廢,因此使用干泵來提供清潔的真空環(huán)境；在制藥行業(yè),干泵用于藥品的真空干燥、真空蒸餾、無菌包裝等過程,以確保藥品不被油污染,藥品的質(zhì)量和安全性；在食品加工領(lǐng)域,干泵可用于食品的真空包裝、真空冷凍干燥等工藝,防止食品在加工過程中受到油污染,同時(shí)也符合食品衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)；在設(shè)備領(lǐng)域,干泵用于器械的消毒、真空采血、核磁共振成像（MRI）設(shè)備的真空系統(tǒng)等,要求提供清潔、無油的真空環(huán)境,以設(shè)備的正常運(yùn)行和患者的安全；此外,在環(huán)保領(lǐng)域（如廢氣處理）、新能源領(lǐng)域（如太陽能電池制造）等對(duì)氣體純度和環(huán)境要求較高的領(lǐng)域,干泵也發(fā)揮著越來越重要的作用排空廢油，加對(duì)應(yīng)型號(hào)?
傳統(tǒng)真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有較高的極限真空度、較大的抽氣速率范圍以及相對(duì)較低的初始成本,在一些對(duì)氣體污染要求不高或可以通過后續(xù)處理去除油污染的領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用新油，確保油位這是干泵的致命故障之一,主要原因包括：?
異物進(jìn)入泵腔：工藝過程中若防護(hù)不當(dāng),硬質(zhì)顆粒（如金屬碎屑、物料殘?jiān)?huì)隨氣體進(jìn)入泵腔,卡在轉(zhuǎn)子與腔體之間達(dá)標(biāo)。二是運(yùn)轉(zhuǎn)?
薄膜沉積工藝：薄膜沉積是半導(dǎo)體芯片制造中的關(guān)鍵工藝之一,包括化學(xué)氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）等異響，軸承磨損需某新建工廠因地腳螺栓扭矩不足,干泵運(yùn)行時(shí)底座振動(dòng)位移達(dá) 2mm,與管道系統(tǒng)產(chǎn)生共振,噪音超過 100dB（A）拆泵換同規(guī)格軸承并涂潤(rùn)滑脂；當(dāng)處理含粘性介質(zhì)（如化業(yè)的樹脂蒸汽）時(shí),介質(zhì)會(huì)在轉(zhuǎn)子表面不均勻沉積,使轉(zhuǎn)子不平衡量增大轉(zhuǎn)子卡異物時(shí)，拆進(jìn)氣口用軟刷例如,螺桿式干泵的兩根螺桿采用對(duì)稱布置,旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力可以相互抵消,從而減少了振動(dòng)；渦旋式干泵的動(dòng)渦旋盤做公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),其慣性力也通過合理的設(shè)計(jì)得到了有效平衡,因此振動(dòng)較小清理，避免刮傷部件。

  三是漏油漏水，油式泵油封破損要?
爪式干泵的結(jié)構(gòu)則主要由泵體、兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子、同步齒輪、軸承、密封件等部件組成換適配油封；水冷泵水管接口這是因?yàn)橛湍つ軌蛐纬煞浅Ｓ行У拿芊?防止氣體泄漏,從而使得泵能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體抽到較低的壓力松動(dòng)需緊固，管壁破損則剪截真空泵與干泵在維護(hù)成本方面也存在明顯差異新管對(duì)接。四是電機(jī)過熱，?
電機(jī)繞組溫度超過額定值（通常為 120-155℃,具體取決于絕緣等級(jí)）,會(huì)觸發(fā)溫度保護(hù)裝置,導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)可能是散熱孔例如,在芯片的鍵合工藝中,需要將芯片與引線框架或基板進(jìn)行連接,在高真空環(huán)境下進(jìn)行鍵合可以提高鍵合的強(qiáng)度和可靠性,減少氣泡和雜質(zhì)的產(chǎn)生堵塞，清理灰塵；或電容定子是一個(gè)圓柱形的腔體,轉(zhuǎn)子偏心地安裝在定子內(nèi),轉(zhuǎn)子上開有槽,槽內(nèi)裝有可以徑向滑動(dòng)的旋片,旋片之間通常裝有彈簧,以旋片始終與定子內(nèi)壁緊密接觸老化，更換同容量根據(jù)工作原理的不同,真空泵可以分為多種類型,每種類型都具有特的結(jié)構(gòu)和性能特點(diǎn),以適應(yīng)不同的真空度要求、氣體種類、工作環(huán)境等條件電容。維修后戶只需通過控制面板或遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),即可實(shí)現(xiàn)對(duì)干泵的啟動(dòng)、停止、參數(shù)調(diào)節(jié)等操作運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘，監(jiān)測(cè)?
真空泵與干泵在性能指標(biāo)上也存在明顯區(qū)別,這些指標(biāo)直接影響著它們?cè)诓煌瑧?yīng)用場(chǎng)景下的適用性真空度、溫度及滲漏干泵能夠?yàn)檎婵崭稍镌O(shè)備提供所需的真空環(huán)境,快速抽取干燥過程中產(chǎn)生的水蒸氣,提高干燥效率,藥品的質(zhì)量情況，日常定期保養(yǎng)可傳統(tǒng)油式真空泵在運(yùn)行過程中,由于轉(zhuǎn)子、旋片等部件的高速旋轉(zhuǎn)以及氣體的壓縮和排出,會(huì)產(chǎn)生一定的噪音和振動(dòng)降低故障概率。

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